表面污染检测系统用于板状元件生产过程中，测试工件表面沾污（α射线）水平，具有手动/全自动测量、精度高、检测范围大等特性。
表面污染检测系统
技术参数
| 检测下限 | 检测下限＜5μg/㎡，置信概率75% |
|---|---|
| 检测范围 | 根据用户需求定制 |
| 检测时间 | 3min |
| 探测效率 | 针对为20%的铀源（活性区Φ70mm），2π探测效率≥35% |
| 固有本底计数率 | ≤3cpm（24h） |
| 仪器稳定性 | ≤10%（24h） |
表面污染检测系统用于板状元件生产过程中，测试工件表面沾污（α射线）水平，具有手动/全自动测量、精度高、检测范围大等特性。
| 检测下限 | 检测下限＜5μg/㎡，置信概率75% |
|---|---|
| 检测范围 | 根据用户需求定制 |
| 检测时间 | 3min |
| 探测效率 | 针对为20%的铀源（活性区Φ70mm），2π探测效率≥35% |
| 固有本底计数率 | ≤3cpm（24h） |
| 仪器稳定性 | ≤10%（24h） |
